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蝕刻工藝中的高溫室效應(yīng)潛力氣體
本文介紹了幾種高GWP氣體，如四氟化碳、八氟環(huán)丁烷等在蝕刻過(guò)程中對(duì)環(huán)境的負(fù)面影響，并探討了低GWP替代氣體六氟丁二烯的優(yōu)勢(shì)，呼吁采用更環(huán)保的蝕刻材料以減少溫室效應(yīng)。更多 +
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江西華特電子特氣項(xiàng)目年產(chǎn)1936.2噸 震撼發(fā)布！
江西華特電子化工有限公司計(jì)劃在江西省九江市永修縣經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)星火工業(yè)園區(qū)現(xiàn)有廠區(qū)投資17400萬(wàn)元建設(shè)年產(chǎn)1936.2噸電子特種氣體項(xiàng)目。該項(xiàng)目涉及三氟化氮和六氟丁二烯等優(yōu)質(zhì)電子氣體的生產(chǎn)，環(huán)評(píng)公布后備受關(guān)注。更多 +
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四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業(yè)中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業(yè)重要工藝，蝕刻所用氣體稱(chēng)蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環(huán)保電子氣體，電子級(jí)C4F6成為集成電路IC芯片等制造時(shí)必不可少的刻蝕氣體，其GWP值簡(jiǎn)直為0，而且能完結(jié)納米級(jí)溝槽的加工，成為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)一把神奇的“刻刀”，比γ刀還γ！ 2015年，浙化院特種氣體研發(fā)團(tuán)隊(duì)提出自主開(kāi)發(fā)新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
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